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七星流量計(jì)，氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測量。它們在半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。